首页 > 无机材料 > 氧化钇粉 >
氧化钇涂层|半导体蚀刻机腔体防护专用粉
氧化钇涂层|半导体蚀刻机腔体防护专用粉

参考价格

1万元以下

型号

氧化钇

品牌

江丰

产地

苏州

样本

暂无
昆山照动贸易有限公司

会员

|

第1年

|

代理商

工商已核实

留言询价
核心参数
  • 纯度:

    99.999%
  • 目数:

    200
标签:

氧化钇粉

氧化钇

国产氧化钇粉

同类推荐

看了氧化钇涂层|半导体蚀刻机腔体防护专用粉的用户又看了

产品介绍
创新点
相关方案
相关资料
用户评论
公司动态
问商家
留言询价
×

*留言类型

*留言内容

*联系人

*单位名称

*电子邮箱

*手机号

提交
点击提交代表您同意 《用户服务协议》《隐私协议》

咨询氧化钇涂层|半导体蚀刻机腔体防护专用粉

使用微信扫码拨号

中国粉体网认证电话,请放心拨打
×
是否已沟通完成
您还可以选择留下联系电话,等待商家与您联系

需求描述

单位名称

联系人

联系电话

Email

已与商家取得联系
同意发送给商家
产品介绍
创新点
相关方案
相关资料
用户评论
公司动态
问商家

氧化钇涂层半导体蚀刻机腔体防护部件    

### 产品概述    

本产品为半导体蚀刻机腔体专用氧化钇涂层防护零部件,以高纯氧化钇为核心原料,通过精密涂层工艺附着于基材表面,专为抵御蚀刻工艺中强腐蚀性等离子体侵蚀打造,保障腔体稳定运行。    

### 核心优势    

1. 超强耐蚀性:有效抵抗CF₄、SF₆等离子体腐蚀,减少腔体基材损耗    

2. 高纯度低污染:严控金属杂质含量,避免晶圆制程污染    

3. 延长设备寿命:大幅降低腔体维护频率,提升设备稼动率    

### 应用场景    

等离子蚀刻机腔体内壁、腔门等核心防护部位,覆盖14nm至5nm先进制程    

### 技术工艺    

采用真空等离子喷涂技术,涂层孔隙率低于2%,结合强度≥50MPa,涂层厚度均匀可控    

### 适配设备    

应用材料、泛林、中微半导体主流蚀刻设备    


创新点

核心性能优势(硬指标碾压同类) 1. 涂层性能天花板:附着力达20MPa+(国内普遍<12MPa)、孔隙率<3%、使用周期≥6个月,完全杜绝打火、漏气、蓝屏宕机;氧化铝η相占比>75%,是国内仅2家实现该指标的企业,涂层致密度≥99%(国内同类<95%)。 2. 工艺适配效率拉满:SPS熔射工艺加工仅需10分钟,对比传统工艺效率提升24倍,完美适配8带线以上3000×3000m
大尺寸设备,攻克小粒径粉体卡粉、断射行业痛点。
独家技术壁垒(核心竞争力) 1. 独家量产技术:国内唯一掌握掺锆氧化钇防黄/防氟、亚微米氧化钇(≤1μm)、高导热球型粉体等核心技术的企业,色度控制精准,无黑点、无色差、无晶格缺陷。 2. 全场景定制能力:可根据光刻机、蚀刻机、显示屏等设备工况,定制粒径、掺料比例(锆/硅/铝),适配半导体全产业链工序,技术沉淀超20年。
应用落地优势(直接对接需求) 1. 精准匹配行业痛点:专为半导体设备(光刻机、蚀刻机)工艺腔、静电卡盘、加热盘等核心部件研发,直接解决进口产品价格高、供货慢、适配难的问题。 2. 实测验证无风险:经京东方、惠科等头部企业实测,10.5带线生产场景稳定运行,无质量事故,可提供完整检测报告(ICP、XRD、SEM),快速落地量产。热喷涂等离子喷涂用氧化钇Y2O3 喷雾造粒粉 芯片刻蚀机 稀土金属粉末

相关方案
暂无相关方案。
相关资料
暂无数据。
公司动态
暂无数据!
技术文章
暂无数据!
用户评论
发评论
暂无评论!
问商家
  • 氧化钇涂层|半导体蚀刻机腔体防护专用粉的工作原理介绍?
  • 氧化钇涂层|半导体蚀刻机腔体防护专用粉的使用方法?
  • 氧化钇涂层|半导体蚀刻机腔体防护专用粉多少钱一台?
  • 氧化钇涂层|半导体蚀刻机腔体防护专用粉的说明书有吗?
  • 氧化钇涂层|半导体蚀刻机腔体防护专用粉的报价含票含运费吗?
  • 氧化钇涂层|半导体蚀刻机腔体防护专用粉有现货吗?
  • 0有办事机构吗?
  • 0销售电话是多少?
氧化钇涂层|半导体蚀刻机腔体防护专用粉信息由昆山照动贸易有限公司为您提供,如您想了解更多关于氧化钇涂层|半导体蚀刻机腔体防护专用粉报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
  • 推荐分类
  • 同类产品
  • 该厂商产品
  • 相关厂商
  • 推荐品牌
免费
咨询
手机站
二维码