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氧化钇陶瓷造粒粉(Y203)品牌
洛瓷科技产地
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洛瓷科技氧化钇陶瓷造粒粉(Y203)
国产氧化钇粉
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氧化钇陶瓷造粒粉(Y203)
产品特性
白色喷雾干燥造粒粉(可用于直接压制)
产品应用
高纯氧化陶瓷(主要用于半导体刻蚀设备配件)
主要性能
暂无数据！
一、半导体刻蚀升级，耐蚀陶瓷材料迎严苛要求等离子刻蚀技术是超大规模集成电路制备工艺中不可或缺加工技术。在半导体晶圆尺寸不断增大以及特征尺寸不断缩小的发展进程中，晶圆的污染问题越来越突出。而刻蚀机腔室材
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