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红外光学温度计
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红外光学温度计是一种测量光并通过校准以指示温度的设备。红外光学温度计检测来自热物体的辐射通量,并利用普朗克黑体辐射方程算法来计算物体的表面温度。所用的算法是基于普朗克黑体辐射方程。
红外光学温度计通过测量物体辐射的红外能量来计算物体的表面温度。半导体行业的红外温度计主要应用于晶体生长阶段,分为Si探测器、铟镓砷探测器以及热电堆探测器三种。从测温原理上分为比色和单色,从光通形式分为透镜型及光导型。
和其光电HQ-RTS系列红外温度计可应用于MOCVD、氧化扩散炉、PVD、CVD、ALD等半导体设备,具有高精准度、高重复性、高可靠性、可定制、技术支持快速响应等诸多优势。
1、全部件国产化,无供应链卡脖子风险。
2、技术指标可沟通定制,侧重点关注区域:
A.光学系统根据实际视场条件设计,同等条件下能量利用率更高,信噪比更高,精度更高;
B.电路指标根据重点关注温度区段定制化设计,将对应区段信号特殊处理,局部区域噪音更低、倍率更高,获得更高信号稳定性、精度、分辨率;
C.机械变焦范围根据需要进行设计,满足设计指标的前提下机身瘦身,更小的空间内实现更多功能;
D.瞄准方式如目视光路、激光瞄准、ccd图像监视等可根据需求定制;
E.通信方式支持EtherCat EtherNet等工业互联网标准接口。
3、技术支持、沟通响应速度高。
4、安装、使用操作等可提供专业技术人员现场操作、培训。
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