参考价格
面议型号
RGP200品牌
产地
无锡样本
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RGP200
国产半导体行业专用仪器
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设备特点
适用于4/6/8寸晶圆的先进封装/chiplet 等工艺/SOI衬底减薄抛光工序
*厚可对应晶圆厚度在1800um(bonding wafer)
薄可将晶圆加工至10um, 同时保持TTV≤1.5um
可追加晶圆化学清洗模组,保证晶圆的表面洁净度满足fab工艺
可配置MES协议转换模块SECS/GEM标准配置
抛光部分终点检测功能,精确控制*终厚度
Polish head支持3zone/5zone
可针对各类化合物半导体/第三代半导体的减薄/抛光
暂无数据!
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