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面议型号
低压 硼扩散炉 氧化 退火炉品牌
赛瑞达产地
江苏样本
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其他烧结气氛：
其他温控精度：
-最高温度：
-额定温度：
-粉体焙烧炉
低压 硼扩散炉 氧化 退火炉
国产粉体焙烧炉
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优势
◆快速的工艺认证，可以极高的提升生产
◆工艺过程中APC良好的控制工艺管压力
◆使用Sic桨使加载区稳定
◆更大的正常运行时间和更低的成本，良好的技术支持和服务，确保设备长期稳定使用
硬件规格
◆恒温区长度:2800mm
◆温区数量:6个温区
◆**温度:1050℃
◆温度均匀性:800℃~1050℃±0.5℃
◆晶圆装载法:碳化硅悬臂桨
◆桨的**承重量:100kg
◆工艺腔和舟的材质:石英管&碳化硅舟托
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