主要特点

◆产能:>25000pcs/h;4800~5280pcs/管(105*210mm)

◆管数:6管

◆压力控制:APC控制方式

◆系统控制:PLC和PC工控机

◆通讯:Melsec,MES.I/O,SECS-II等

◆自动化集成:用于客户优化和MES控制集成的全自动化解决方案

工艺规范

◆方阻值:30~60Ω/cmsq

◆极限真空:≤20mbar

◆方阻均匀性:<5%(片内/片间/批间)

硬件规格

◆恒温区长度:2800mm

◆温区数量:6个温区

◆**温度:950℃

◆温度均匀性:800℃~950℃±0.5℃

◆晶圆装载法:碳化硅悬臂桨

◆桨的**承重量:100kg

◆工艺腔和舟的材质:石英管&碳化硅舟托独立磷源柜，便于更换源瓶

优点

◆快速的工艺认证，可以极高的提升生产

◆工艺过程中APC良好的控制工艺管压力

◆使用SiC桨使加载区稳定，SiC舟托使用寿命更长

◆更大的正常运行时间和更低的成本，良好的技术支持和服务，确保设备长期稳定使用