ROOKO瑞柯微半导体行业专用仪器
ROOKO瑞柯微FT-3110
国产半导体行业专用仪器
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全自动四探针测试仪（含 FT-3110A/FT-3110B）采用四点探针法与 ASTM 标准，支持全自动测量、PC 软件数据采集与分析，可检测电阻率、方块电阻、厚度等参数，兼具 2D/3D 扫描图谱显示与温湿度监测功能。
功能介绍Function Introduction
四点探针法、全自动化运行测量系统
PC软件采集和数据处理、ASTM方法
自动正/负电流输出，自动正/负电压测量
测量电阻率、方块电阻、厚度
可调探针压力、测试点数、多种模式
显示2D,3D扫描/数值图、温湿度值
提供标准校准电阻件、数据统计分析
适用范围Scope of application
晶圆、非晶硅/微晶硅和半导体衬底电阻率测量；选择性发射极扩散片；
表面钝化片；交叉指样PN结扩散片；新型电极设计，如电镀铜电阻测量等；
规格型号 | FT-3110A | FT-3110B（可扩展） |
1.方块电阻 | 10^-5～2×10^5Ω/□ | 10^-6～2×10^5Ω/□ |
2.电阻率 | 10^-6～2×10^6Ω-cm | 10-7～2×106Ω-cm |
3.测试电流 | 0.1μA;1μA;10μA，100µA，1mA， 10mA，100mA | 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA |
4.电阻精度 | ≤0.3%（标准电阻） | |
5.PC软件操作 | PC软件界面：电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、2D、3D图谱、报表生成等 | |
6.压力范围 | 探针压力可调范围：100-500g | |
7.探针 | 钨钢材质，探针间距1mm；机械游移率：≤0.3%；其他规格可定制 | |
8.载台类型及尺寸选购 | 选购1:圆形载台晶圆尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm） 选购2：方片载台尺寸：153mm*153mm范围内定制规格 | |
9.分析模式 | 单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试 | |
10.重复性 | 单点重复性：重复性≤0.5% | |
11.防护功能 | 具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报 | |
12.电源 | 输入: AC 220V±10%.50Hz， 功 耗：<600W | |
半导体材料分析，铁电材料，纳米材料，太阳能电池，LCD，OLED，触摸屏等.
采用全自动步进探针，无需手动调节，四探针法测量方块电阻与电阻率。量程覆盖超宽，适配半导体、薄膜、涂层等材料，自动量程、温度补偿、数据校准一体化。支持恒流 / 恒压模式，大屏直读 + PC 软件双控，自动生成报表与曲线，满足研发与产线稳定、高精度测试需求。
采用全自动步进探针，无需手动调节，四探针法测量方块电阻与电阻率。量程覆盖超宽，适配半导体、薄膜、涂层等材料，自动量程、温度补偿、数据校准一体化。支持恒流 / 恒压模式，大屏直读 + PC 软件双控，自动生成报表与曲线，满足研发与产线稳定、高精度测试需求。
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