真空排气台是一种用于制造和维持高真空环境的专业设备，在真空环境下可将材料中溶剂蒸发排出，广泛应用于电真空器件、红外器件、空间行波管等领域。

根据设定的真空度曲线数据，将阀板作为调节元件，通过不同位置改变阀门通经流导大小，控制主抽泵对腔体的有效抽速来实现真空度的可控。

本系统主要由真空系统、APC 智能蝶阀、真空测量系统、电气控制系统，PC 机及 软件、机架四大部分构成。机架采用工业铝型材制作。整体外形尺寸如下：

设备主要性能参数表：

控制软件采用 C#编写，运行环境为 windows。功能及界面描述如下：

1、手动界面：可以在界面上对真空阀门进行手动控制开合；可以手动控制真空泵的转速及抽速。

2、自动功能：自动运行：在设定完真空曲线后可以自动运行，使得真 空度按照设定的工艺曲线随动；自动工艺设定：可以直接以图表曲线的方式设定需要的 真空度曲线。

3、数据处理及界面：可以根据采样周期，实时记录真空度-时间，并在界面上实时以图表形式表达；可以对历史的记录数据进行查看并以图表曲线的形式 展现；可以对采集的数据及控制参数实时记录，以.CSV 的文本 格式保存在硬盘中，便于数据的处理和查阅；可以记录保存当前的工艺参数（recipe），方便下次调用；所有图表中的曲线都可以进行框选放大缩小处理。