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真空室尺寸 | 1200×1500mm | 1400×1600mm | 1600×1800mm | 1800×1950mm | 2000×1950mm |
制膜种类 | 半透明膜、金、银、红、蓝、绿、灰、黑、七彩等多种颜色 | ||||
电源类型 | 多弧专用电源、高压离子轰击电源、可控硅电源，脉冲偏压电源 | ||||
真空室结构 | 立式双开门、立式单开门、卧式单开门、抽气系统 | ||||
真空系统 | 机械泵＋罗茨泵＋扩散泵/分子泵＋维持泵（或选配：深冷系统） | ||||
极限真空 | 8×10-4 pa（空载、净室） | ||||
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