模具超硬膜离子镀膜机是为模具镀硬质或超硬保护膜而设计的。真空镀膜机真空镀室的真空密封和室内运动部件的设计和用材，充分考虑可承受高温，配置多只高效圆形电弧蒸发源，或配多个矩形平面电弧蒸发源，也可面多只空心阴极枪，同时面置耐冲击的、具有优异灭闪孤性能的偏压电源，保证足够等离子体密度和反应活性，提高膜层致密性和结合力。

工件可三维运动，提高膜层均匀性，全自动控制提高工艺稳定件，可糖制TiN、TIC、TICN、TIAIN、TIAICH、TiCYY、TiCxCN、TiAICXH、多层超硬膜等，应用于精密模具业(冲压模具、剪切模具、标准件模具、成型模具等)、工具行业(钻头、硬质合金、铣刀、拉刀、丝锥和齿轮刀具等)，汽车工业《活塞、活环、合金轮等)。