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晶圆盒颗粒检测机
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设备配置说明：
设备电机等部位增加保护罩，门检interlock等；
设备内部操作区设置三防灯，方便观察；
设备设置亚克力透明材料观察窗口，及门开关处理。
MES 连接，自动上报
space chart 系统自动生成
量测精度达0.1um
所有外壳材质选用SUS316，满足无尘室用料；
所有进水管材质选用PFA，出水管材质选用SUS316，衔接处做除尘处理；
设备内电机和气缸选用高防水防尘型号（IP65）；
摆动电机部位增加保护罩，防止水溅落上及particle 。
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