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设备配置：
超声波震动仪2台
气枪2只，水枪2只
触摸屏1个（含PLC控制）
液位sensor 3个及漏液检测sensor1对
设备功能：
可处理wafer破片之后的FOUP
可作为FOUP 或parts 辅助量测设备
可作为FAB内各种parts 清洗机
定期的Auto cleaner monitor FOUP
产能可根据要求设计制作
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