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设备简介
此设备主要应用于显示行业对盒工艺中transfer设备。
设备特点
1.CCD 定位，定位精度±50um；
2.Vacuum 吸附自动微调机构；
3.Stage对位平台，R轴，旋转角度±3°；
4.XY 对位行程±12MM。
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