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设备简介
此设备主要应用激光在晶圆表面打标作业
设备特点
1.高精密直线电机,高速度X-Y运动平台,移动精度≤1um;
2.可实现8~12 inch 的晶圆打标;
3.双提篮设计, 实现换料无等待;
4.紫外纳秒激光器,扫描速度max 12000mm/s;
5.WPH:120。
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