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大气压微波低温等离子宽幅射流系统(LTPJ)品牌
奋羽电子产地
四川样本
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大气压微波低温等离子宽幅射流系统(LTPJ)
国产半导体行业专用仪器
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| 项目 | 参数 |
| 长*宽*高 | 射流头308*195.7*106.4 mm (射流头形态可定制);微波源:450*404*172mm |
| 输出功率 | 1000W,1W可调(微波源) |
| 输出频率 | 2450MHz ±5MHz |
| 频率误差 | ±50ppm |
| 微波泄露 | ≤2mW/cm2 |
| 供电电压 | AC220V±10% |
| 供电频率 | 50Hz±2Hz |
| 启动模式 | 标准ON/OFF |
| **驻波比 | 2:1 |
| 工作模式 | 连续波CW |
| 功率稳定度 | 1% |
| 整机效率 | ≥60% |
| 射流头和微波源连接方式 | 波同 |
| 工作温度 | 环境温度** 40℃,冷却水 18-28℃,**湿度 60% |
| 冷却方式 | 水冷 |
| 控制接口 | RS485控制协议 |
版本:
| 版本 | 工艺气体 | 羽流长度 | 羽流直径/宽 |
| V1.0 | Ar、O2、压缩空气 | 5mm | 0.9mm |
| V2.0 | Ar、O2、压缩空气 | 5mm | 1mm |
| 宽幅 | Ar、O2、压缩空气 | 5mm | 5cm |
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