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6英寸MPCVD设备
6英寸MPCVD设备

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型号

6英寸MPCVD设备

品牌

三乐微波

产地

江苏

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南京三乐微波技术发展有限公司

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半导体行业专用仪器

6英寸MPCVD设备

国产半导体行业专用仪器

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1.提供先进的成套MPCVD气相沉积系统。

2.系统核心器件电源、磁控管国产化,微波功率可到75kW。

3.拥有CST、Comsol模拟仿真和大型工作站,可进行2450MHz、915MHz频段的腔体仿真优化和快速迭代升级。



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