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“MPCVD”中文全称名叫“微波等离子体化学气相沉积”，MPCVD法的设备是制备高品质金刚石的培育设备。其工作原理是利用微波作为能量来源，在特定的反应气体条件下激发等离子体进行材料外延生长，微波系统将微波源产生的微波能量以特有的模式经矩形波导输出，通过模式转换器耦合进入圆柱形等离子体反应腔，在微波场的作用下，反应气体被激发为等离子体状态，等离子体是部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质，等离子体呈球状形成于金刚石衬底上进行外延生长。
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