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YWCVD系列6KW-10KW微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)系统品牌
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YWCVD系列6KW-10KW微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)系统
国产半导体行业专用仪器
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YWCVD系列6KW-10KW微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)系统是针对用户的具体要求设计和研制的一台高配置、多用途、高稳定中等压强微波等离子体(MPCVD)综合加工设备。它具有性能先进、功能完善、结构合理,使用方便、安全可靠、外形美观,适用于单晶和多晶金刚石膜片的化学气相沉积(CVD)、材料表面处理和改性以及低温氧化物的生长等高新科技领域。其自带的360°自动旋转功能可以更均衡地生长产品。
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