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EVG 850LT SOI晶圆键合系统品牌
亚科电子产地
北京样本
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EVG 850LT SOI晶圆键合系统
国产定制加工件
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EVG 850LT是一款专门用于SOI晶圆的全自动键合系统，相比EVG850增加了低温等离子体激活模块，提高键合质量。
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