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面议型号
EVG 560晶圆键合系统品牌
亚科电子产地
北京样本
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-规格外形（长*宽*高）：
-其它辅助设备
EVG 560晶圆键合系统
国产其它辅助设备
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产品简介：
EVG 560是一款全自动多腔室晶圆键合系统。
主要特点及参数：
·**支持12英寸（300mm）晶圆
·*多兼容4个键合腔室
·兼容包括SmartView在内的EVG机械/光学对位装置
·拥有独立的底部冷却系统
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EVG 560是一款全自动多腔室晶圆键合系统。
主要特点及参数：
·**支持12英寸（300mm）晶圆
·*多兼容4个键合腔室
·兼容包括SmartView在内的EVG机械/光学对位装置
·拥有独立的底部冷却系统
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