仪器简介：

美国** 日本技术 90%市场占有率 是金属/半导体材料研发和故障分析的有力工具。空间分辨率高，信息深度5纳米以内

技术参数：

俄歇电子能谱仪

• He以上所有元素纳米（约5nm）表面定性/表面定量/亚表层以及深度方向信息

1） 成分

2） 图像

3） DETECT LIMIT 0.1%

4） *小束斑 6纳米

5） 仪器型号PHI 700 清华，宝钢2004，2005年购买

6） 报价 不含税100万美金

主要特点：

He以上所有元素纳米（约5nm）表面定性/表面定量/亚表层以及深度方向信息