反射高能电子衍射仪（Reflection

High-Energy Electron Diffraction）是观察晶体生长*重要的实时

监测工具。它可以通过非常小的掠射角将能量为10～30KeV的单能电子掠射到晶体表面，通过衍射斑

点获得薄膜厚度，组分以及晶体生长机制等重要信息。因此反射高能电子衍射仪已成为MBE系统中

监测薄膜表面形貌的一种标准化技术。

　　R-DEC公司生产的反射式高能电子衍射仪，以便于操作者使用的人性化设计，稳定性和耐久性以

及拥有高亮度的衍射斑点等特长得到日本国内及海外各研究机构的一致好评和认可。

用于有机薄膜晶体结构检测。世界首创！欢迎来电询问详细技术资料！