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规格＆应用：
-半自动探针台＆全测量.
-12英寸低噪音卡盘，陶瓷Pa.
-X，Y转台行程300 x 300mm， 分辨率5um.
-Z转台：上/下移动距离 15mm.
-CCD摄像机：全高清210M像素.
-定位器：微型定位器主体单元PB100，真空底座分辨率1um，行程13mm.
-选项：暗箱；振动台；热夹头；Seebeck效应加热探头 等........
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