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PHYS TECH GmbH RH2035 霍尔效应测试仪器

1.	设备名称：	霍尔效应测试仪
2.	功能描述：	测量半导体薄膜中载流子类型、载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等参数
3.	技术参数：
3-1	测试范围：	Si， SiGe， SiC， GaAs， InGaAs， InP， GaN (N Type & P Type)等材质的半导体薄膜中载流子类型、载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等参数
3-2	磁场：
3-2-1	磁场强度：	1T 电磁体
3-2-2	磁场类型：	电磁体
3-2-3	磁场均匀性：	磁场不均匀性＜±1 % 10年内磁场变化＜±0.2%
3-3	温度：
3-3-1	温度区域：	77K(液氮温度)或室温
3-4	电阻率范围：	*1 µ Ohmcm ~10 M Ohmcm*
3-5	电阻范围：	0.1 m Ohms ~10 G Ohms
3-6	载流子浓度：	10⁷~10²¹cm^-3
3-7	迁移率：	*10^-2~10⁷ cm²/voltsec**
3-8	输入电流：
3-8-1	电流范围：	1000 pA~10mA
3-8-2	电流解析度：	25 pA (lowest range)
3-8-3	电流精度：	2%
3-9	输入电压：
3-9-1	电压范围：	±10V
3-9-2	电压分辨率：	1μV

4.	仪器特点：
4-1	Automatic contact check 自动接触检查(欧姆接触)
4-2	Routine and enhanced software 常规和增强软件
4-3	Differential resistivity measurements by I/V-curves I/V曲线测试电阻率差异
4-4	Misalignment voltage compensation 失调电压补偿
4-5	Correction of slow sample drift voltage， especially for ZnO，修正慢样品漂移电压，特别是氧化锌
4-6	Automatic field calibration 自动现场标定
4-7	Large concentration and resistivity range 大浓度和电阻率范围
4-8	Flexible， modular hardware 灵活的模块化硬件
4-9	Support of various magnets， for example BioRad HL 5200 支持多样磁场
4-10	Support of various temperature controllers 支持各种温度控制器(支持客户自行升级变温系统)

5	硬件
5-1	The standard system consists of a bench top electronic system， a small magnet and a sample stage for room temperature and LN2 measurements. 标准系统包含电子测试系统、磁场和两个温度区域的测试平台（室温和液氮温度）
5-2	The electronics include the current source， the voltage measurement part， the contact switching module and the IEEE or RS232 interface. It is completely micro processor controlled. 电子测试系统包括由单片机控制的电流源、电压测试、接触开关模块、IEEE或RS232接口
5-3	The contact switching module is designed to allow all possible measurement configurations. 接触开关模块支持所有用户用于其他的配置(用户可以采用制冷机做变温霍尔测试)
5-4	The current source has adjustable limits for voltage and/or power. {+++} 电流源具有可调电压和/或电源的限制
5-5	Voltage measurement provides different input amplifiers optimized for either low current or low voltage applications. 电压测量提供了不同的输入放大器或低电流或低电压应用的优化。