美国SVT生产型MBE

SVT 拥有20年MBE设备制造与革新的经验。

MBE是半导体材料和器件生长的主要研究制造技术。

SVT 的MBE设备提供超高真空环境，可以精确制备各种薄膜结构，包括超高k电解质，光电子器件，高能通讯器件，以及其他应用器件。

SVT正不断提高MBE系统的性能，并为客户开放新材料提供更大便利。

35V14 MBE是生产型的MBE系统，并可以加工超大尺寸样品。

此系统可以加工**14''的样品，

并配有大容量的源以及RF6.0生产型Plasma源。

可用于指标氧化物、氮化物、As化物等。