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美国SVT公司CIGS铜铟镓硒系统
35-V-100是薄膜沉积精密设备，是适用于4英寸衬底的CIGS研发型设备
SVTA-CIGS-30是生产型系统
还可提供各种大容量生产型的S/Se源，包括点源（200CC-2000CC）和线性源（8000CC）
*多可放6个样品
可靠地高温衬底加热器
多重泵抽组合包含Se trap
关于衬底操作还可以添加集群腔室，便于以后升级
*多容纳10个源
先进的在线监控仪
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