原子氢源采用电子束加热原理，产生的温度可高达2，500^oC。氢气进入原子氢源，然后被裂解成原子H。由于其不会产生离子形态的氢，所以消除了损伤衬底表面的可能性，因此是用于衬底表面清洁的**工具。

紧凑SVTA-H1-1的接口是2.75’’（70mm）CF法兰。另外还可以配转换法兰，使其适用于任何MBE设备。建议电源使用SVTA-H1-PS。此电源系统包括3个独立电源：高压电源用于提供偏压；高电流电源用于灯丝加热；控制器连接其他电源，用于控制输出发射电流，此外，此电源还可以为测量和显示束流供电。