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Semilab–Sopra椭偏仪
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仪器简介:

应用:

◆ 薄膜厚度、n值及k值的测量,可应用于任何薄膜生长或者镀膜工艺的监控。

技术参数:

Sopra公司是世界上*知名的椭偏仪设备供应商,其高精度的椭偏仪在半导体、化合物半导体(GaAs/SiC)、LCD及MEMS领域有着非常广泛的应用。目前,全世界有超过500台的Sopra椭偏仪应用于各个行业。

主要特点:

◆ 高精度的薄膜测量(膜厚、n值、k值);

◆ 全世界**家宽光谱椭偏仪技术的***;

◆ VLSI及其他的测试标准均由Sopra标第;

◆ 强扩展性:Fast UV VIS CCD 模式,高分辨率DUV-VIS模式及FTIR/4PP功能。

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