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DS-2000/14G 型无掩模光刻机
1.技术特征
.采用 DMD 作为数字掩模,像素数 1024×768 或 1920×1080 或 2560x1600 三种选配
.采用缩小投影光刻物镜成像,分辨力 1um。
.采用**技术——积木错位蝇眼透镜实现均明。
.采用进口精密光栅、进口电机、进口导轨、进口丝杠实现精确工件定位和曝光拼接,可适应 100mm?100mm 基片。
.采用 CCD 检焦系统实现整场调平、自动逐场调焦或自动选场调焦曝光。
.具备对准功能
2.技术参数
.光源:350W 球形汞灯(曝光谱线: i 线)或紫外 LED;
.照明不均匀性:2%;
.物镜倍率:7.6 倍(或 14 倍与选择的 DMD 像素尺寸有关)
.曝光场面积:1mm×0.7mm (或 1.9mm×1.8mm ,或 2.5mm×1.6mm,与选择的 DMD 像素数有关)?
.光刻分辨力:1 μm
.工件台运动范围:X:100mm、 Y:100mm;
.工件台运动定位精度:± 0. 5μm;
.调焦台运动灵敏度:1μm;
.对准精度:± 2μm;
.调焦台运动行程:6mm
.检焦:CCD 检测,检测精度 2 微米
.转动台行程:±6°以上
.直写速度:40mm2 /min
基片尺寸
.外径: Ф1mm—Ф100mm,厚度:0.1mm--5mm
3.外形尺寸:840mm(长)x450mm(宽) x830mm(高)
4.配置
(1)照明系统
.350W 直流汞灯(或紫外 LED)、椭球镜、准直镜、蝇眼透镜组、场镜组、365nm 滤光片、气动快门、DMD(美
国德州仪器)、冷却风扇。
.投影物镜 7.6 倍,可根据用户要求另增加一种.
.分辨力 1?m(缩小倍率 7.6 倍)
(2)工件台系统
.X 台:电机驱动器(日本乐孜)、丝杠(日本 NSK)、导轨 2(日本 THK)、光栅(美国)
.Y 台:电机及驱动器(日本乐孜)、丝杠(日本 NSK)、导轨 2(日本 THK)、光栅 2(美国)
.转动台:电机及驱动器(日本乐孜),转动轴系
.Z 台:电机及驱动器(日本乐孜)、丝杠、上升导向机构
.承片台:4 英寸(可增加 3 英寸、2 英寸、1 英寸等)
(3)检焦系统
.焦面光学检测系统、CCD、焦面检测软件
(4)对准系统
.对准光学检测系统、CCD、对准软件
(5)电控系统
.汞灯电源及触发器、主机控制系统、软件、计算机、监视器(19 英寸液晶)、接口(6)气动系统
.电磁阀、旋转气缸、减压阀、压力表、真空表
(7)其他附件
.真空泵一台(无油泵)
.空压机一台(静音泵)
.管道
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