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DS-2000/14G型无掩模单面光刻机
DS-2000/14G型无掩模单面光刻机

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四川

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深圳市蓝星宇电子科技有限公司

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DS-2000/14G 型无掩模光刻机

1.技术特征

.采用 DMD 作为数字掩模,像素数 1024×768 或 1920×1080 或 2560x1600 三种选配

.采用缩小投影光刻物镜成像,分辨力 1um。

.采用**技术——积木错位蝇眼透镜实现均明。

.采用进口精密光栅、进口电机、进口导轨、进口丝杠实现精确工件定位和曝光拼接,可适应 100mm?100mm 基片。

.采用 CCD 检焦系统实现整场调平、自动逐场调焦或自动选场调焦曝光。

.具备对准功能

2.技术参数

.光源:350W 球形汞灯(曝光谱线: i 线)或紫外 LED;

.照明不均匀性:2%;

.物镜倍率:7.6 倍(或 14 倍与选择的 DMD 像素尺寸有关)

.曝光场面积:1mm×0.7mm (或 1.9mm×1.8mm ,或 2.5mm×1.6mm,与选择的 DMD 像素数有关)?

.光刻分辨力:1 μm

.工件台运动范围:X:100mm、 Y:100mm;

.工件台运动定位精度:± 0. 5μm;

.调焦台运动灵敏度:1μm;

.对准精度:± 2μm;

.调焦台运动行程:6mm

.检焦:CCD 检测,检测精度 2 微米

.转动台行程:±6°以上

.直写速度:40mm2 /min

基片尺寸

.外径: Ф1mm—Ф100mm,厚度:0.1mm--5mm

3.外形尺寸:840mm(长)x450mm(宽) x830mm(高)

4.配置

(1)照明系统

.350W 直流汞灯(或紫外 LED)、椭球镜、准直镜、蝇眼透镜组、场镜组、365nm 滤光片、气动快门、DMD(美

国德州仪器)、冷却风扇。

.投影物镜 7.6 倍,可根据用户要求另增加一种.

.分辨力 1?m(缩小倍率 7.6 倍)

(2)工件台系统

.X 台:电机驱动器(日本乐孜)、丝杠(日本 NSK)、导轨 2(日本 THK)、光栅(美国)

.Y 台:电机及驱动器(日本乐孜)、丝杠(日本 NSK)、导轨 2(日本 THK)、光栅 2(美国)

.转动台:电机及驱动器(日本乐孜),转动轴系

.Z 台:电机及驱动器(日本乐孜)、丝杠、上升导向机构

.承片台:4 英寸(可增加 3 英寸、2 英寸、1 英寸等)

(3)检焦系统

.焦面光学检测系统、CCD、焦面检测软件

(4)对准系统

.对准光学检测系统、CCD、对准软件

(5)电控系统

.汞灯电源及触发器、主机控制系统、软件、计算机、监视器(19 英寸液晶)、接口(6)气动系统

.电磁阀、旋转气缸、减压阀、压力表、真空表

(7)其他附件

.真空泵一台(无油泵)

.空压机一台(静音泵)

.管道

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