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WAFER AOI光学检验系统
进料的wafer，经过正反面目检和显微镜正面micro检查，进行检查和分选。操作员不接触wafer，避免了污染和损伤wafer。
性能描述：
标准配备1个Load port，单臂翻转Robot，Pre-aligner，目检台和显微镜。
兼容8寸和12寸wafer
标准load port可以对应FOUP，AutoFOSB自动开盖，具备mapping功能
高精度运动机构，低噪音，低尘，无需供油。
触摸屏操作，界面友好。
对应GEM300，采用SEMI标准软件
晶圆光学检测机：
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