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世友创业爱德华STP-iXR1606
世友创业爱德华STP-iXR1606

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英国

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世友创业(北京)科技有限公司

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国产泵

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STP-iXR1606系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内**的性能,机载控制装置中包含**技术的小型电源供给。其设计理念与STP-iXA2206/iXA3306系列相同。**开发的革命性转子设计提高了抽取性能,这一完全集成的产品易于安装且占地面积小,可作为所有应用工具的一体化解决方案。

应用

玻璃涂层

太阳能PVD

工业溅射

特性与优势

泵和控制器之间不需要连接电缆。 消除了传统架装式控制器的安装空间和成本。

紧凑型设计使安装更加方便,占地面积更小。 与STP-A1603配套时在8” TMP同类产品中抽速**。 使高气体流速领域的功耗降低了32%。 标配端口包括I/O远程、RS232C、RS485、STP-Link

可选配Profibus和DeviceNet

技术数据

入口法兰尺寸

VG200/VG250

VG150

ISO200F/ISO250F

ISO160F

ICF253/ICF305

ICF203

前级抽气口尺寸

KF40

KF40

抽速

N2

1600 ls-1

900 ls-1

H2

1200 ls-1

600 ls-1

压缩比

N2

>108

>108

H2

1 x 103

1 x 103

极限压力

10-7Pa (10-9Torr)

10-7Pa (10-9Torr)

允许的前级压力

266 Pa (2 Torr)

266 Pa (2 Torr)

**气流N2(仅水冷)

4700 sccm

4700 sccm

(7.94 Pam3s-1)

(7.94 Pam3s-1)

**气流Ar(仅水冷)

1800 sccm

1800 sccm

(3.04 Pam3s-1)

(3.04 Pam3s-1)

额定速度

36,500 rpm

36,500 rpm

启动时间

8 min

8 min

固定位置

任何方向

任何方向

输入电压

200至240 (± 10) V交流

200至240 (± 10) V交流

**输入功率

750 VA

750 VA

重量

48 kg

48 kg

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