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产品特点
更高转速对小分子气体压缩比更高
单磁轴承结构超长运行寿命
集成式控制器支持多种控制方式
任意角度安装应用场景广泛
应用领域
电子显微镜、检漏、质谱、表面分析、等离子监测、残余气体分析、医学技术、工业检漏、电子束焊接、隔离真空、核研究、等离子研究、粒子加速器、冷冻研究、基本粒子物理学、纳米技术、生物技术
技术指标
进气口法兰 | DN100 ISO-K DN100 CF-F | 抽速速率(L/s) | N2:280 He:265 H2: 220 Ar:255 |
压缩比 | N2:>1E11 He:>1E8 | 临界前级压力(Pa) | N2:2000 He:2000 |
*低工作压力(Pa) | DN100 ISO-K:<8E-6 DN100 CF-F:<2E-7 | 额定转速(RPM) | 60000 |
启动时间(min) | <3.5 | 噪音(dB) | <48 |
振动值(μm) | <0.05 | 设计无故障运行时间(h) | >15000 |
安装角度 | 任意角度 | 冷却方式 | 自然冷却、风冷、水冷 |
排气口法兰 | DN16 ISO-K | 建议前级泵(L/s) | 1-3 |
高真空法兰烘烤温度(℃) | 100 | 环境温度(℃) | 5-30(自然冷却)、5-35(风冷)、5-40(水冷) |
重量(kg) | DN100 ISO-K:6.5 DN100 CF-F:9.8 |
尺寸
产品特性

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