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| ■技术指标 ◆Tx：13mm ◆Ty：13mm ◆Tz：6mm ◆θx：-10°～10° ◆θy：-2°～４° ◆θz：-４°～４° ◆灵敏度：1μm ◆X.Y.Z轴直线度：<3μm |
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