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Park NX Hybrid WLI
Park NX Hybrid WLI

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型号

Park NX Hybrid WLI

品牌

Park

产地

韩国

样本

暂无
韩国帕克股份有限公司

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第2年

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Park NX-Hybrid WLI

全自动工业 WLI-AFM 系统

Park NX Hybrid    WLI是有史以来**款具有内置WLI轮廓仪的AFM,用于半导体和相关制造质量保证。例如半导体前端、后端到高级封装的过程控制,以及研发计量。它适用于那些需要在大面积上进行高吞吐量测量的设备,这些设备可以缩小到具有亚纳米分辨率和超高精度的纳米级区域。  

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半导体计量的两种**互补技术。

  • WLI:      白光干涉测量是一种光学技术,它可以对非常宽的区域进行成像,速度非常快,满足高吞吐量测量。

  • AFM:      原子力显微镜是一种扫描探针技术,即使对透明材料也能提供*精确的纳米级分辨率测量。

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