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碳化硅陶瓷载盘 | |
厚度 | 0.75mm |
直径 | 156mm |
气孔径 | ＜5 μm |
双面平面度 | ≤15 μm |
TTV | ≤3 μm,5点量测 |
平行度 | ≤15 μm |
翘曲度要求 | 90℃- 250℃ 宏观目视不翘曲变形 |
密度 | 1.8~2.4 g/cm3 |
气孔率 | 30%-50% |
抗折强度 | ≤65 Mpa |
热膨胀系数 | 7.5 （10-6/℃） |
透气性要求 | 空吸：真空度≥ -30 Kpa |
外观 | 1.全周去毛边，锐角倒钝 |
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