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钙钛矿太阳能电池蒸发设备ZDF3200品牌
北京泰科诺产地
北京样本
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镀膜方式:蒸发
腔室结构:方箱式
工艺室尺寸:L1900mmxH2200mmxW550mm
进样室:500mm×600mm×400mm
过渡室:500mm×600mm×400mm
极限真空:6×10-5pa
基片台尺寸:300mm×400mm
基片温度:常温
均匀性:≤±5.0%
溅射靶:低温和高温线源配置
控制:PC
点地面积:4000mm×2500mm×2200
功率:70KW三相五线制
1. 技术先进、设计优化,性价比高,性能稳定,使用维护成本低;
2. 广泛应用于钙钛矿太阳能电池/OPV有机太阳能电池等各种膜层的制备;
如:钙钛矿层、电子传输层及背电极等膜层的制备;
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