中国粉体网讯 在半导体制造中,需要要对晶圆进行各种工艺处理,例如薄膜沉积、刻蚀等。在这些环节中,需要将晶圆加热到一定温度,并且对温度有着严格的要求,因为温度的均匀性对产品良率有着非常重要的影响,加热部件必不可少。除了确保晶圆[更多]
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