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推荐陶瓷：光刻机纳米精度的“终极密码”

中国粉体网讯 以光刻机为代表的集成电路核心装备是现代技术高度集成的产物，涉及光学、材料学、计算机科学等40多个学科。在60余年的发展历程中，光刻机（包括其零部件）不断挑战人类超精密制造装备的极限，被誉为“现代光学工业之花”，[更多]