透明陶瓷

推荐半导体设备中,不常提到的陶瓷材料,但性能一流!

中国粉体网讯 精密陶瓷零部件是光刻、刻蚀、薄膜沉积、离子注入、CMP等多个半导体制造关键流程核心设备关键部件。其中,氧化铝、氮化铝、碳化硅等三中陶瓷材料备受关注。半导体行业遵循“一代技术、一代工艺、一代设备”的产业规律,而半[更多]

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