表面粗糙度测量/表面粗糙度检测仪

SURFCOM 1400G-LCD

适用于评估玻璃基板、静电夹具、晶圆等厚度较薄且面积较大的工件表面的波纹度、表面粗糙度以及高低差的表面粗糙度测量仪。

特点

在玻璃基板检测及静电夹具检测领域拥有众多应用实例的表面粗糙度测量仪

SURFCOM 1400G-LCD能够对厚度较薄但面积较大的工件进行大面积测量。与普通的表面粗糙度测量仪不同，它的特点是：并非由检测头在X轴方向上移动，而是由承载工件的工作台（即工件移动式驱动装置）在X轴方向上移动来进行测量。该设备具备超过300毫米的宽广驱动范围，以及极高的X轴直线度精度，因此能够为工件의波动、表面粗糙度以及高度差等参数提供可靠的测量结果。此外，由于检测头可以沿Y轴方向移动，因此可以轻松检测工件的不同部位，从而实现多条线上的波动和粗糙度评估。

• 测量范围 300×250mm型

  X轴：300mm、Y轴：250mm

• 测量范围 500×500mm型

  X轴：500mm、Y轴：500mm

• 测量范围 650mm× 650mm型

  X轴：650mm、Y轴：650mm

可提供与工件相匹配的装载板，具备Y轴电动驱动功能，还有用于精确测量凹痕等细微部位的定位装置；同时具备自动重测功能，能够沿Y轴方向微调测量线，直至准确测出凹痕的直径。

粗糙度・形状测量机用横向进给装置 

●可高效率地测量缸体那样的重物体或者曲轴那样的长物体等。 

●适合汽车、机床的零部件测量。 

●X轴进给可根据用途选择电动和手动型号。 

●测量台使用的是辉长岩，随使用时间发生的变化小。