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400品牌
微芸半导体产地
安徽样本
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400
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● 盒式对盒式集簇式真空传输系统，*多支持3个工艺腔。
● 满足半导体标准的配方驱动及管理软件控制系统，符合SEMI标准。通过闸板阀与传输腔室连接，晶圆在卡夹中放置状态自动扫描。
● 在线式晶圆与对准机构，高可靠性真空晶圆传输机械手。
● 传输配置独立的干泵，本底真空≤7.5mTorr。
● 单个VCE单次VCE放片量≤25片
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