深紫外线波长范围的光学系统用于生命科学、高分辨率显微镜，特别是半导体制造等各种应用。SHSCam HR4-130-GE-DUV波前传感器现在可用于这些光学器件的对准和测试：在193nm的波长下，5*10-4 J/cm²的能量密度足以让该传感器提供曝光良好的测量信号——因此，它的灵敏度是SHSCam SHR6-130-GE-DUV的30倍。

    凭借 1nm RMS的波前测量的重复性和3nm RMS的基本精度，SHSCam HR4-130-GE-DUV可用于苛刻的测量任务。它以高稳定性精确地检测光学系统中细的错位，快速表征光源，或评估由SLM或自适应镜形成的激光束的波前。

• 基本优势

  1、16Hz波前评估率的快速单发测量

  2、高内在稳定性和可靠性

  3、高动态范围：+/- 5°倾斜，30mm局部WF曲率

  4、行业成熟、强大的GigE总线系统

  5、功能强大、可配置的软件

• 性能参数