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CXF-320/3001CVS磁悬浮分子泵
CXF-320/3001CVS磁悬浮分子泵

参考价格

面议

型号

CXF-320/3001CVS

品牌

kyky

产地

北京

样本

暂无
北京中科科仪股份有限公司

高级会员

|

第9年

|

生产商

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标签:

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产品特点

高性能气体输送涡轮叶片

耐反应产物沉积结构与功能

丰富的配件与可扩展性

应用领域

光刻、物理气相沉积 PVD、化学气相沉积 CVD、离子刻蚀、平板显示、LED/OLED、等离子研究、粒子加速器

技术指标

进气口法兰

DN320 ISO-F

加热温度

60至70℃

排气口法兰

KF40

抽速速率(L/s)

N2:2950 Ar:2750 He: 2300 H2:1100

压缩比

N2:1E8 Ar:1E8 He: 1E4 H2:1E3

极限压强(Pa)

1E-7(橡胶密封Rubber seal)

**瞬时入口流量(sccm)

2100

保护气入口法兰(选配)

KF10

推荐保护气体流量(sccm)

50

**允许磁场强度(mT)

径向Radial:3 轴向 Axial:15

额定转速(RPM)

21000

启动时间(min)

≤9

停机时间(min)

≤12

冷却方式

水冷

冷却水流量(L/min)

3

冷却水温度(℃)

20±5

电源电压(VAC)

220±10%,50Hz 110±10%,60Hz

**功率(W)

1000

适配电源型号

CXFD-1001S

控制线缆长度(m)

5或10(选配)

建议前级泵(L/s)

≥30

重量(kg)

73(ISO-F)

尺寸

ScreenShot_2026-04-21_092603_492.png 

产品特性

ScreenShot_2026-04-21_092608_203.png


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