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CXF-200/1402CS品牌
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kykyCXF-200/1402CS
国产泵
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产品特点
高性能气体输送涡轮叶片
耐反应产物沉积结构与功能
丰富的配件与可扩展性
应用领域
表面分析、等离子体监测、残余气体分析、光刻、物理气相沉积 PVD、化学气相沉积 CVD、离子刻蚀、注入-光束、检测、分子束外延 MBE、真空锁 转运箱、平板显示、LED/OLED、硬盘镀膜、光伏、玻璃镀膜、CD/DVD、光学镀膜、硬质涂层、卷绕镀膜、医学技术、电子束焊接、真空干燥、核研究、聚变技术、等离子研究、粒子加速器、模拟空间站、冷冻研究、基本粒子物理学、纳米技术、生物技术
技术指标
进气口法兰 | DN200 ISO-F DN200 CF | 排气口法兰 | KF40 |
抽速速率（L/s） | N2:1400 Ar:1300 He: 1100 H2:820 | 压缩比 | N2:＞1E8 Ar:＞1E8 He: ＞1E4 H2:＞1E3 |
极限压强（Pa） | 1E-7（橡胶密封Rubber seal） 1E-8（金属密封metal seal） | **瞬时入口流量（sccm） | 1200 |
保护气入口法兰（选配） | KF10 | 推荐保护气体流量（sccm） | 20 |
**允许磁场强度（mT） | 径向Radial：3 轴向 Axial：15 | 额定转速（RPM） | 33000 |
启动时间（min） | ≤7 | 停机时间（min） | ≤9 |
冷却方式 | 水冷 | 冷却水流量（L/min） | 2 |
冷却水温度（℃） | 20±5 | 电源电压（VAC） | 220±10%，50Hz 110±10%，60Hz |
**功率（W） | 1000 | 适配电源型号 | CXFD-1001S |
控制线缆长度（m） | 5或10（选配） | 建议前级泵（L/s） | ≥16 |
重量（kg） | 51 |
尺寸
产品特性
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