参考价格
1万元以下型号
Exicor® HD 400/600/800/1000/1500/2000 高清系列品牌
产地
美国样本
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SreenExicor® HD 400/600/800/1000/1500/2000 高清系列
国产其他
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Hinds Instruments Exicor® HD 系列双折射测量系统，是美国 Hinds Instruments 专为重型、大尺寸样品打造的高精度双折射评估平台，核心基于 Exicor 低阶双折射测量技术与自动化运动控制，**解决半导体晶圆、光掩膜等超大样品的双折射检测难题。
系统采用全钢底座设计，大幅提升测量效率与稳定性，支持从 400mm 到 2000mm 全尺寸**样本量，可承载** 5400kg 的重型样品，完全适配工业级大尺寸器件的批量检测。搭载 PEMLabs™光弹性调制器，支持 632.8nm 等定制光源，测量速率** 100 pps；测量斑点直径可低至 < 50μm，减速范围覆盖 0.005 到 300 + 纳米，延迟分辨率达 0.001 纳米 /±0.015 纳米，角分辨率 0.01°，实现亚纳米级超高精度测量。
系统配备直观的自动化扫描软件，支持正面和头顶双加载选项，可一键量化研磨量、损伤值与双折射分布，结合可选高分辨率探测器模块，实现原生小于 1mm 的精细测量。广泛应用于半导体晶圆、光掩膜、光学镀膜、玻璃基板、大尺寸光学元件等行业的双折射、应力分布深度评估，是高端光学制造领域的核心精密测量设备。
✅ 全钢重型底座，适配 400~2000mm 超大样品，承重最高 5400kg
✅ 亚纳米级精度，0.001nm/±0.015nm 双折射，0.01° 角分辨率
✅ 0.005~300 + 纳米宽范围测量，<50μm 光斑，全域精准覆盖
✅ 自动化扫描 + 数字化分析，研磨 / 损伤 / 双折射全参数量化
✅ 多光源 / 多调制技术，定制化适配不同样品需求
✅ 全尺寸型号覆盖，从实验室到产线全场景适配
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