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Exicor OIA 斜入射光学元件双折射测量系统
Exicor OIA 斜入射光学元件双折射测量系统

参考价格

1万元以下

型号

Exicor OIA

品牌

产地

美国

样本

暂无
深圳市秋山贸易有限公司

高级会员

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第9年

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Exicor OIA 是美国 Hinds Instruments 推出的斜入射式光学元件双折射测量系统,专为正入射 / 斜入射场景下的透镜、平行面 / 曲面光学元件检测设计,基于行业标杆级 PEM 照片弹性调制技术,是下一代光刻透镜、高价值光学元件研发与质控的核心设备。

系统采用偏振电磁波调制技术,精准测量光学元件对光束偏振态的改变,实现 0.001nm 延迟分辨率、±0.03nm 重复性(VIS 波段),0.01° 角分辨率、<±0.5° 重复性,可精准评估双折射、快轴方向与理论残余应力。支持自动扫描平行平板、球面透镜,手动宏程序扫描非球面元件,生成 2D 阻尼 / 快轴方向图与全域扫描统计,搭配可从上方自由访问的样品台,适配大尺寸、异形光学元件检测。设备内置紫外线 / 激光封闭安全联锁、紧急停止、状态指示灯塔,保障操作安全,配套专业工作站与分析软件,可直观呈现 3D 应力分布,适配半导体光刻、光学材料研发、精密光学制造等高端场景。


创新点

斜入射 + 正入射双模式,适配曲面 / 非球面光学元件;亚纳米级超高精度,覆盖 VIS/DUV 多波段;PEM 弹性调制技术,行业标杆级检测方案;自动化扫描 + 可视化分析,直观呈现应力分布;安全联锁设计,保障操作安全。

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