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氮化铝烧结炉
氮化铝烧结炉

参考价格

面议

型号

HSN-040418

品牌

顶立科技

产地

湖南

样本

暂无
湖南顶立科技股份有限公司

金牌会员

|

第14年

|

生产商

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核心参数
  • 非金属电热元件:

    其他
  • 金属电热元件:

    其他
  • 烧结气氛:

    真空
  • 温控精度:

    ±5~±10
  • 最高温度:

    1500-2000
  • 额定温度:

    1500-2000
标签:

顶立科技真空炉

顶立科技HSN-040418

国产真空炉

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产品描述:

氮化铝烧结炉(卧式)主要用于半导体领域的氮化铝陶瓷胚体和制品的气氛烧结、真空烧结。

应用范围:

载盘、导轨和工件台、机械臂、静电吸盘、透明陶瓷、靶材等、高导热基板、加热器、结构件


技术特征

采用特殊的炉胆结构和加热器布置,炉温均匀性好;

全密闭马弗,密封效果好,抗污染能力强;

可具备真空烧结、负压脱脂烧结、载气脱脂烧结等功能;

可选配脱脂系统,实现陶瓷制品的脱脂烧结一次性处理;

适于工艺气氛:N2/Ar/H2


产品规格

参数\型号HSN-040418HSN-050515HSN-060612HSN-060618
工作区尺寸 W×H×L(mm)400×400×1800500×500×1500600×600×1200600×600×1800
**温度(℃)1500-20001500-20001500-20001500-2000
温度均匀性(℃)±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10
极限真空度(Pa)10-4-10010-4-10010-4-10010-4-100
压升率(Pa/h)0.670.670.670.67

以上参数可根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。


配置选择

炉门锁紧方式:手动/自动

炉壳材质:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢

保温材质:碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡

加热器、马弗材质:石墨/CFC/陶瓷

热电偶:K/N/C/S分度号(钨套管/钼套管/陶瓷管)

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