参考价格
面议型号
HCVD-060609-SIC品牌
顶立科技产地
湖南样本
暂无非金属电热元件：
其他金属电热元件：
其他烧结气氛：
真空温控精度：
±7.5~±10最高温度：
1500额定温度：
1500顶立科技真空炉
顶立科技HCVD-060609-SIC
国产真空炉
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卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）
产品描述：
卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）可用于材料的表面涂层、基体改性、复合材料制备等
应用范围：
外延片基座、晶体炉高温耐材、热弯模具、半导体坩埚、陶瓷基复合材料等
采用先进的控制技术，能精密控制MTS的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；
全密闭沉积室，密封效果好，抗污染能力强；
多通道工艺气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；
多级高效尾气处理系统，能有效处理高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物，环境友好；
可选配新设计的防腐蚀真空机组，持续工作时间长，维修率极低；
使用工艺气氛：真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS。
| 参数\型号 | HCVD-060609-SIC | HCVD-101015-SIC | VCVD-121220-SIC | HCVD-151530-SIC | HCVD-252035-SIC |
| 工作区尺寸W×H×L（mm） | 600×600×900 | 1000×1000×1500 | 1200×1200×2000 | 1500×1500×3000 | 2500×2000×3500 |
| **温度（℃） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 温度均匀性（℃） | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 | ±10 |
| 极限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 压升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加热方式 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 |
以上参数可根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。
结构形式：卧式-单开门/双开门；立式-上出料/下出料
炉门锁紧方式：手动/自动
炉壳材质：内层不锈钢/全不锈钢
保温材质：碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡/陶瓷纤维毡
加热器、马弗材质：石墨/CFC/金属
热电偶：K/N/C/S分度号
真空泵：机械泵组/耐腐蚀泵组
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2026年3月20日，第六届长三角热处理应用技术研讨会在苏州隆重召开。在本次研讨会上，顶立科技副总经理马卫东受邀作《立式双室真空渗碳气淬技术装备》主题报告，分享了公司在高端热处理装备领域的最新技术突破
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2026年4月8日，由新钢文化主办的第五届商业热处理与热等静压先进制造大会在无锡隆重开幕。会议为期三天，来自全球热处理行业上下游的500余位专家学者与企业代表共聚一堂，围绕行业前沿技术、发展趋势与创新
所谓复合材料是指由两种或两种以上的组分材料，运用一定的工艺技术制备组合而成的多相新材料体系，其综合性能优于各自组分材料。先进复合材料指用高性能增强体如碳纤维、芳纶等高性能耐热高聚物构成的复合材料，包括
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