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无纺布抛光垫
无纺布抛光垫

参考价格

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型号

无纺布抛光垫

品牌

博来纳润

产地

浙江

样本

暂无
浙江博来纳润电子材料有限公司

高级会员

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第1年

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生产商

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核心参数
  • 主要材质:

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无纺布抛光垫

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无纺布抛光垫是一款毛毡状的抛光垫,能磨出一定程度的平坦性和平滑性,性能处于聚氨酯抛光垫和阻尼布抛光垫的中间位置。
通常被使用于粗磨或中磨。
应用领域:
半导体晶圆,蓝宝石,光学镜片,金属等材料CMP。
定制服务:
硬度、尺寸、沟槽等可按需求定制。

NWS-85

NWS-60

NWS-70

• 由无纺布浸渍聚氨酯树脂后得到的复合抛光垫
• 耐氧化性优异,不掉毛,速率保持稳定
• 适用于碳化硅的粗抛工艺

• 由无纺布浸渍聚氨酯树脂后得到的复合抛光垫
• 硬度、密度较低,在低压力下去除前道工序中的划痕
• 适用于硅片衬底的中抛工艺

• 由无纺布浸渍聚氨酯树脂后得到的复合抛光垫
• 圆环内侧可切缺口便于贴合环形机台
• 适用于硅片衬底的边抛工艺

NWD-80

NWD-90

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• 由无纺布浸渍聚氨酯树脂后得到的复合抛光垫
• 出色的平整度,在中等压力下实现高去除速率
• 适用于硅片衬底的粗抛和中抛工艺

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• 出色的平整度,在高压力下全寿命周期内保持高去除速率
• 适用于硅片衬底的粗抛工艺


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