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LST-200H型半自动共焦平整度测试仪品牌
三禾泰达产地
北京样本
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LST-200H型半自动共焦平整度测试仪
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性能参数(Specification)
Parameter | Value |
分辨率(Resolution) | 0.05μm |
传感器重复性(Repeatability) | 0.20μm
|
测量精度(Accuracy) | ±0.5μm(双抛片)
|
结果界面(Result Interface)
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